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商品詳細
The Physics of Micro/Nano-Fabrication. 1st ed. Softcover of orig. ed. 1993
・ISBN 978-1-4419-3221-1 paper EUR 199.99
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★★★
| 著者・編者 | Brodie, Ivor / Muray, Julius J., |
|---|---|
| シリーズ | (Microdevices) |
| 出版社 | (Springer-Verlag New York Inc., US) |
| 出版年月 | 2010 |
| ページ数 | 622 pp. |
| 言語 | ENG |
| ニュース番号 | ＜A05-44624＞ |
解説
In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.