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商品詳細
Rapid Thermal Processing of Semiconductors. Softcover reprint of the original 1st ed. 1997
・ISBN 978-1-4899-1806-2 paper EUR 219.99
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★★★
| 著者・編者 | Borisenko, Victor E. / Hesketh, Peter J., |
|---|---|
| シリーズ | (Microdevices) |
| 出版社 | (Springer-Verlag New York Inc., US) |
| 出版年月 | 2013 |
| ページ数 | 358 pp. |
| 言語 | ENG |
| ニュース番号 | ＜A04-80206＞ |
解説
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.