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商品詳細
Mechanical Properties of Silicon Based Compounds: Silicides. 2019 ed.
・ISBN 978-3-030-22597-1 hard EUR 99.99
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| 著者・編者 | Pelleg, Joshua, |
|---|---|
| シリーズ | (Engineering Materials) |
| 出版社 | (Springer Nature Switzerland AG, SZ) |
| 出版年月 | 2019 |
| ページ数 | 274 pp. |
| 言語 | ENG |
| ニュース番号 | ＜A02-83076＞ |
解説
This book focuses on the mechanical properties of silicides for very large scale integration (VLSI) applications. It presents the fabrication process for bulk silicides and thin films, and list complete testing deformation for a variety of silicon based compounds. The author also presents dislocation in silicides, fatigue and fracture aspects. A special chapter is given on deformation in silicides in the nano scale. Composites and alloys are also considered.