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商品詳細
New Prospects of Integrating Low Substrate Temperatures with Scaling-Sustained Device Architectural Innovation.
・ISBN 978-3-031-00899-3 paper EUR 27.99
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| 著者・編者 | Ashraf, Nabil Shovon / Alam, Shawon / Alam, Mohaiminul, |
|---|---|
| シリーズ | (Synthesis Lectures on Emerging Engineering Technologies) |
| 出版社 | (Springer International Publishing AG, SZ) |
| 出版年月 | 2016 |
| ページ数 | 72 pp. |
| 言語 | ENG |
| ニュース番号 | ＜A02-80038＞ |
解説
In order to sustain Moore's Law-based device scaling, principal attention has focused on toward device architectural innovations for improved device performance as per ITRS projections for technology nodes up to 10 nm. Efficient integration of lower substrate temperatures (