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商品詳細
Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology.
・ISBN 978-0-8247-9951-9 hard GB£ 240.00
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★★★
| 著者・編者 | Nonogaki, Saburo / Takumi, Ueno / Ito, Toshio, |
|---|---|
| 出版社 | (CRC Press Inc, US) |
| 出版年月 | 1998 |
| ページ数 | 336 pp. |
| 言語 | ENG |
| ニュース番号 | ＜A00-36104＞ |
解説
"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."