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商品詳細
Ultra-Clean Technology Handbook: Volume 1: Ultra-Pure Water
・ISBN 978-0-8247-8753-0 hard GB£ 400.00
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| 著者・編者 | Ohmi, Tadahiro (ed.), |
|---|---|
| 出版社 | (CRC Press Inc, US) |
| 出版年月 | 1993 |
| ページ数 | 944 pp. |
| 言語 | ENG |
| ニュース番号 | ＜A00-35818＞ |
解説
Evaluating the effectiveness of conventional wet processes for cleaning silicon wafers in semiconductor production, this reference reveals concrete measures to improve ultrapure water quality reviewing the structure and physical characteristics of ultrapure water molecules. The volume is divided int