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Particle Control for Semiconductor Manufacturing

Particle Control for Semiconductor Manufacturing

・ISBN 978-0-8247-8242-9 hard GB£ 300.00

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電子版あり 大学・学術機関向け電子ブック(eBook)ISBN 9780203744307
著者・編者Donovan, R.P.,
出版社 (CRC Press Inc, US)
出版年月1990
ページ数480 pp.
言語ENG
ニュース番号<A00-35684>

解説

There is something Alice-in-Wonderlandish about powerful and vital computer systems being shut down by a microscopic mote that a hay-feverist wouldn't sneeze at, but as computer chips get smaller, smaller and smaller particles on their surface have a larger and larger effect on their performance. In