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商品詳細
Impurity Diffusion and Gettering in Silicon: Volume 36.
・ISBN 978-1-107-40560-8 paper GB£ 27.00
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| 著者・編者 | Fair, Richard B. / Pearce, Charles W. / Washburn, Jack (eds.), |
|---|---|
| シリーズ | (MRS Proceedings) |
| 出版社 | (Cambridge University Press, UK) |
| 出版年月 | 2014 |
| ページ数 | 300 pp. |
| 言語 | ENG |
| ニュース番号 | ＜A00-5494＞ |